氢气传感器采用 MEMS 工艺，根据 催化燃烧效应的原理工作，由检测元件和补偿元件配对组 成电桥的一个臂，遇氢气时检测元件电阻升高，桥路输出 电压变化，该电压变量随氢气浓度加大而成正比例加大， 补偿元件起参比及温湿度补偿作用。

氢气传感器的类型有哪些？

电化学氢传感器–可以使用电化学传感器来检测氢气含量低（ppm），该电化学传感器包括一系列电极，这些电极被包装成被导电电解质包围，并且气体的扩散受扩散受限的毛细管控制。

MEMS氢传感器– 纳米技术与微机电系统（MEMS）技术的结合，可以生产在室温下能正常工作的氢微传感器。一种类型的基于MEMS的氢传感器涂有一层由纳米结构的氧化铟（In 2 O 3）和氧化锡（SnO 2）组成的膜。机械式基于Pd的氢传感器的典型配置是使用涂有Pd的独立式悬臂。在H 2存在下，Pd层膨胀并因此引起应力，该应力导致悬臂弯曲。依赖于由H 2气体的存在引起的应力诱导的机械共振频率偏移，文献中也报道了Pd包覆的纳米机械共振器。在这种情况下，通过使用非常薄的Pd层（20 nm）可以提高响应速度。提出了适度加热作为在潮湿条件下观察到的响应损害的解决方案。

薄膜传感器–钯薄膜传感器基于相反的特性，该特性取决于薄膜中的纳米级结构。在薄膜中，当形成氢化物时，纳米级的钯粒子会膨胀，并且在膨胀过程中，其中一些会与其邻居形成新的电连接。由于导电路径数量的增加，电阻降低。